ВЕРТИКАЛЬНЫЙ НАСОС

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ НАСОС


SU (11) 1706270 (13) C0

(51) 5 F04D19/04 

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ СССР 
Статус: по данным на 26.12.2007 - прекратил действие 

--------------------------------------------------------------------------------

(21) Заявка: 4786075/29 
(22) Дата подачи заявки: 1990.01.25 
(45) Опубликовано: 1994.06.15 
(71) Заявитель(и): Центральное конструкторское бюро машиностроения 
(72) Автор(ы): Глухов Н.П.; Годисов О.Н. 
(73) Патентообладатель(и): Центральное конструкторское бюро машиностроения 

(54) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ НАСОС 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для сжатия и перекачки особо чистых газов в микроэлектронной промышленности. Насос содержит корпус 1 и установленный в нем по оси на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4, ротор (Р) 2 с внутренней полостью. Внутренняя полость ротора Р 2 разделена поперечными перегородками (П) 6 на камеры (К) 7 и каждая К 7 снабжена радиальной напорной трубкой 8, вход которой расположен на периферии К 7, а выход - в центральной части соседней К 7. Каждая К 7 снабжена дополнительной поперечной перегородкой 16 с периферийными отверстиями 15, каждая П 6 снабжена газодинамическим уплотнением в виде неподвижной шайбы 17. 3 з. п. ф-лы, 2 ил. 


ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ



Изобретение относится к вакуумной технике.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг.1 и 2 изображены варианты выполнения насоса, продольный разрез.

Вертикальный молекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью установленный на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4. Ротор приводится во вращение электродвигателем 5. Внутренняя полость ротора 2 разделена перегородками 6 на камеры 7, в которых установлены радиальные напорные трубки 8. Вход 9 напорной трубки 8 расположен на периферии камеры 7, а выход 10 этой напорной трубки расположен в центральной части соседней камеры. Аналогично расположены вход и выход других трубок, установленных в соседних камерах. Трубка 11 последней камеры соединена с центральной трубкой 12 для выхода сжатого газа. Подача исходного газа осуществляется в центральную часть первой камеры по трубке 13.

В варианте выполнения насоса, изображенном на фиг.2, между камерами 7 выполнены полости 14. Полость 14 сообщается с камерой 7 через отверстие 15 в дополнительной перегородке 16, Вблизи перегородок 6 и 16 на центральной трубке 12 по оси корпуса 1 установлены неподвижные шайбы 17.

Насос работает следующим образом.

Ротор 2 раскручивается с помощью высокочастотного электродвигателя 5. При вращении ротор 2 опирается поверхностью стержня 3 на подпятник 4. Через входную трубку 13, установленную в корпусе 1, исходный газ поступает в центральную часть первой камеры 7. Под действием центробежного поля вращающегося ротора газ отбрасывается на периферию к стенке ротора 2, разгоняется до скорости стенки и сжимается, увеличивая свое давление. Газ через вход 9 поступает в напорную трубку 8, дополнительно увеличивая свое давление благодаря динамическому напору, откуда через выход 10 подается в центральную часть соседней камеры, образующей следующую ступень повышения давления газа. По мере движения газа через ступени насоса происходит последовательное повышение его степени сжатия. В последней ступени повышения давления газ отбирается напорной трубкой 11, соединенной с центральной трубкой 12, по которой газ повышенного давления выводится из корпуса 1.

В варианте выполнения насоса, показанном на фиг.2, исходный газ поступает через входную трубку 13 в центральную часть полости 14. Под действием центробежного поля вращающегося ротора 2 газ, поступивший в полость 14, отбрасывается на периферию ротора к его стенке, где происходит его сжатие и повышение давления. Газ повышенного давления через отверстия 16 в перегородке 15 поступает в камеру 17 и далее через вход 9 в напорную трубку 8 и через вход 10 в центральную часть полости 14 следующей ступени насоса. В последней камере газ отбирается напорной трубкой 11, соединенной с центральной трубкой 12, по которой газ повышенного давления выводится из корпуса 1.

Для уменьшения перетечек через центральные части полостей и камер вблизи перегородок на центральной трубке 12 по оси корпуса 1 установлены неподвижные шайбы 17, образующие газодинамическое уплотнение.

Напорные трубки 8 соседних камер 7 могут быть расположены под углом 80о относительно оси ротора происходит выравнивание газодинамических сил взаимодействия между вращающимися элементами ротора и неподвижными напорными трубками, что дополнительно повышает устойчивость насоса в рабочем режиме.

Благодаря использованию последовательно расположенных полостей камеры с внутренними напорными трубками обеспечивается последовательное повышение степени сжатия при преимущественно ламинарном режиме газовых потоков в насосе, в результате чего уменьшается вероятность загрязнения особо чистых газов в ступенях повышения давления продуктами, выделяющимися при взаимодействии проходящего газа с элементами насоса. Проходящий через насос газ дополнительно очищается от механических примесей, которые оседают под действием сильного центробежного поля сил на внутренние стенки ротора в полостях и камерах насоса, что улучшает откачные характеристики насоса при работе на особо чистых газах. (56) Авторское свидетельство СССР N 1036956, кл. F 04 В 19/04, 1981. 


ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ



1. ВЕРТИКАЛЬНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и установленный в нем по оси ротор с внутренней полостью, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, внутренняя полость ротора разделена поперечными перегородками на камеры и каждая камера снабжена радиальной напорной трубкой, вход которой расположен на периферии камеры, а выход - в центральной части соседней камеры.

2. Насос по п.1, отличающийся тем, что каждая камера снабжена дополнительной поперечной перегородкой с периферийными отверстиями, разделяющими камеру на полость входа собственной напорной трубки и полость выхода напорной трубки соседней камеры.

3.Насос по п.1, отличающийся тем, что напорные трубки соседних камер расположены под углом 180oС.

4.Насос по п.2, отличающийся тем, что каждая перегородка снабжена газодинамическим уплотнением в виде неподвижной шайбы, установленной по оси корпуса.




ПРОЧИТАТЬ НУЖНО ВСЕМ !
Судьба пионерских изобретений и научных разработок, которым нет и не будет аналогов на планете еще лет сорок, разве что у инопланетян



Независимый научно технический портал
Насосы и компрессорное оборудование






СОВЕРШЕННО БЕСПЛАТНО!
Вам нужна ПОЛНАЯ ВЕРСИЯ данного патента? Сообщите об этом администрации портала. В сообщении обязательно укажите ссылку на данную страницу.


ПОИСК ИНФОРМАЦИИ В БАЗЕ ДАННЫХ


Режим поиска:"и" "или"

Инструкция. Ключевые слова в поле ввода разделяются пробелом или запятой. Регистр не имеет значения.

Режим поиска "И" означает, что будут найдены только те страници, где встречается каждое из ключевых слов. При использовании режима "или" результатом поиска будут все страници, где встречается хотя бы одно ключевое слово.

В любом режиме знак "+" перед ключевым словом означает, что данное ключевое слово должно присутствовать в найденных файлах. Если вы хотите исключить какое-либо слово из поиска, поставьте перед ним знак "-". Например: "+центробежный -насос".

Поиск выдает все данные, где встречается введенное Вами слово. Например, при запросе "насос" будут найдены слова "насосы", "насосом" и другие. Восклицательный знак после ключевого слова означает, что будут найдены только слова точно соответствующие запросу ("насос!").



Рейтинг@Mail.ru