СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК 


RU (11) 2060567 (13) C1

(51) 6 H01F10/08, H01F41/14 

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ 
Статус: по данным на 25.01.2008 - прекратил действие 

--------------------------------------------------------------------------------

(21) Заявка: 94008143/02 
(22) Дата подачи заявки: 1994.03.09 
(45) Опубликовано: 1996.05.20 
(56) Список документов, цитированных в отчете о поиске: 1. Malytin V.J. et al. Structure and Magnetic Properties of Ni-Fe-Co. - Phys. stat. sol. (a), 1981, 65, 45, с.45-52. 2. Авторское свидетельство СССР N 1822504, кл. H 01F 10/06, 10/08, 1991. 
(71) Заявитель(и): Иркутский государственный педагогический институт 
(72) Автор(ы): Гаврилюк А.В.; Ковалева Н.П. 
(73) Патентообладатель(и): Иркутский государственный педагогический институт 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК 

Использование: для изготовления тонких магнитных пленок с заданными свойствами для запоминающих устройств. Сущность изобретения: на диэлектрическую подложку наносят два магнитных слоя, разделенных немагнитным слоем, и подвергают селективному химическому травлению верхнего слоя, в результате которого одновременно повышается коэрцитивная сила этого слоя и образуются магнитные неоднородности. Магнитостатическое взаимодействие магнитных полей рассеяния от неоднородностей с намагниченностью нижнего слоя ведет к контролируемому увеличению его коэрцитивной силы. 1 ил. 


ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ



Изобретение относится к области технологии изготовления тонких магнитных пленок с заданными свойствами и может быть использовано при построении запоминающих устройств.

Известны способы повышения коэрцитивной силы магнитомягкого слоя. Один из способов основан на селективном химическом травлении нанесенного на диэлектрическую подложку слоя магнитного материала, сопровождающимся ростом пористости материала, что приводит к увеличению коэрцитивной силы [1]

Недостаток этого способа разрушение поверхности рабочего магнитного слоя.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ [2] заключающийся в нанесении на диэлектрическую подложку магнитомягкого и магнитожесткого слоев с формированием в магнитожестком слое магнитных неоднородностей. Магнитостатическое взаимодействие магнитных полей рассеяния от магнитных неоднородностей с магнитомягким слоем приводит к повышению коэрцитивной силы магнитомягкого слоя.

Недостатки этого способа ограниченная возможность контроля за ростом коэрцитивной силы и обязательное использование в качестве одного из слоев высококоэрцитивного материала.

Цель изобретения контролируемое увеличение коэрцитивной силы магнитомягкой пленки.

Способ поясняется чертежом.

Поставленная цель достигается следующим образом. На диэлектрическую подложку 1 последовательно напыляют два магнитных слоя 2, разделенных немагнитным слоем 3. Магнитные слои могут быть получены осаждением одного и того же материала, либо магнитных материалов с различными значениями коэрцитивной силы. Полученная система подвергается химическому травлению, в процессе которого осуществляется контроль за величиной коэрцитивной силы нижнего слоя пленки. При достижении ее необходимого значения травление прекращают.

П р и м е р 1. На диэлектрическую подложку осаждают магнитомягкий слой Fe-Ni-Co, затем немагнитный слой SiO2 и на него наносят слой Fe-Ni-Co распылением той же мишени. Поверхностный слой подвергают селективному химическому травлению, в результате которого одновременно увеличивается коэрцитивная сила этого слоя и появляются магнитные неоднородности. Магнитостатическое взаимодействие полей рассеяния от неоднородностей с намагниченностью нижнего слоя ведет к увеличению его коэрцитивной силы.

П р и м е р 2. На стеклянную подложку ионно-плазменным напылением наносят магнитомягкий слой, содержащий, мас. Fe 15; Ni 64, Со 21, толщиной 70 мм, немагнитный слой Ti толщиной 10 нм, затем магнитожесткий слой СоW толщиной 80 нм и фоторезист. Методом фотолитографии и последующего травления из CoW слоя формируют магнитные неоднородности в виде системы полосок шириной 8 мкм и периодом 30 мкм. Для приведенного конкретного примера увеличение коэрцитивной силы Fe-Ni-Co слоя составляет 8,5 Э (2,5-11 Э).

Использование предлагаемого способа позволяет контролировать величину коэрцитивной силы и при достижении необходимого значения прекратить процесс травления. При изготовлении пленочной системы можно использовать для осаждения слоев один и тот же магнитный материал. 


ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ



Способ изготовления магнитных пленок, включающий нанесение на диэлектрическую подложку двух магнитных слоев и формирование магнитных неоднородностей, отличающийся тем, что между магнитными слоями дополнительно наносят немагнитный слой, а формирование магнитных неоднородностей в одном из магнитных слоев осуществляют после их осаждения методом селективного травления.




ПРОЧИТАТЬ НУЖНО ВСЕМ !
Судьба пионерских изобретений и научных разработок, которым нет и не будет аналогов на планете еще лет сорок, разве что у инопланетян



Независимый научно технический портал
Электроника и электротехника




СОВЕРШЕННО БЕСПЛАТНО!
Вам нужна ПОЛНАЯ ВЕРСИЯ данного патента? Сообщите об этом администрации портала. В сообщении обязательно укажите ссылку на данную страницу.


ПОИСК ИНФОРМАЦИИ В БАЗЕ ДАННЫХ


Режим поиска:"и" "или"

Инструкция. Ключевые слова в поле ввода разделяются пробелом или запятой. Регистр не имеет значения.

Режим поиска "И" означает, что будут найдены только те страници, где встречается каждое из ключевых слов. При использовании режима "или" результатом поиска будут все страници, где встречается хотя бы одно ключевое слово.

В любом режиме знак "+" перед ключевым словом означает, что данное ключевое слово должно присутствовать в найденных файлах. Если вы хотите исключить какое-либо слово из поиска, поставьте перед ним знак "-". Например: "+автомобильная -сигнализация".

Поиск выдает все данные, где встречается введенное Вами слово. Например, при запросе "датчик" будут найдены слова "датчик", "датчики" и другие. Восклицательный знак после ключевого слова означает, что будут найдены только слова точно соответствующие запросу ("датчик!").


Металлоискатели и металлодетекторы | Электронные устройства охраны и сигнализации | Электронные устройства систем связи | Приемные и передающие антенны | Электротехнические и радиотехнические контрольно-измерительные приборы и способы электроизмерений | Электронные устройства пуска, управления и защиты электродвигателей постоянного и переменного тока | Электродвигатели постоянного и переменного тока | Магниты и электромагниты | Кабельно-проводниковые и сверхпроводниковые изделия


Рейтинг@Mail.ru